[15p-PB2-1~53] 8 プラズマエレクトロニクス（ポスター）

[15p-PB2-51] 誘導結合型プラズマを用いて発生させた水素ラジカルによるクロロシラン系原料の分解

〇(M1)堤 大耀^1,2、岡本 裕二^2,3、石垣 隆正¹、角谷 正友² (1.法政大学、2.物材機構、3.筑波大学)

キーワード：プラズマ