[15p-PB2-1~53] 8 プラズマエレクトロニクス（ポスター）

[15p-PB2-53] 酸化チタン薄膜表面への酸素プラズマ照射効果

〇新部 正人¹、荒木 佑馬¹、竹平 徳崇¹、川上 烈生²、中野 由崇³、東 知里² (1.兵庫県大高度研、2.徳島大院工、3.中部大院工)

キーワード：プラズマダメージ、色素分解率、酸素欠損