[16a-1A-1~11] 15.6 IV族系化合物（SiC）

[16a-1A-1] ウェット酸化により形成したSiO₂/4H-SiCの電子状態評価

〇渡辺 浩成¹、大田 晃生¹、牧原 克典¹、宮崎 誠一¹ (1.名大院工)

キーワード：XPS、酸化膜