2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.6 IV族系化合物(SiC)

[16a-1A-1~11] 15.6 IV族系化合物(SiC)

2015年9月16日(水) 09:00 〜 12:00 1A (131+132)

座長:土方 泰斗(埼玉大)

09:30 〜 09:45

[16a-1A-3] AR-XPSによる4H-SiC (0001)の初期酸化過程の解明

〇荒井 仁1、野平 博司1 (1.東京都市大工)

キーワード:炭化珪素、酸化過程、X線光電子分光法