2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.6 IV族系化合物(SiC)

[16a-1A-1~11] 15.6 IV族系化合物(SiC)

2015年9月16日(水) 09:00 〜 12:00 1A (131+132)

座長:土方 泰斗(埼玉大)

10:15 〜 10:30

[16a-1A-6] 容量の過渡応答(C-t 特性)に基づくSiC MOS 界面近傍の膜中への捕獲電荷に起因した緩和現象の理解

〇藤野 雄貴1、喜多 浩之1 (1.東大院工)

キーワード:SiC、MOS界面、過渡応答