[16a-1C-1~11] 13.5 デバイス／集積化技術

[16a-1C-9] 再成長ソース/ドレインを有するInGaAsマルチゲートMOSFET作製プロセス

〇(M2)木下 治紀¹、金澤 徹¹、祢津 誠晃¹、三嶋 裕一¹、宮本 恭幸¹ (1.東工大院理工)

キーワード：化合物半導体、マルチゲート、MOVPE