[16a-1E-1~11] 3.8 Optical measurement, instrumentation, and sensor

△ [16a-1E-3] Highly Sensitive Measurement of Trace Moisture using Wavelength-Meter-Controlled Cavity Ring-Down Spectroscopy

〇Koji Hashiguchi¹, Daniel Lisak², Hisashi Abe¹ (1.NMIJ/AIST, 2.UMK)

Keywords:CRDS,trace moisture,humidity

ガス中の微量水分の高精度な測定を可能にする信頼性の高い測定方法として、キャビティリングダウン分光法（CRDS）が近年注目されている。現在開発中のCRDS測定装置では、測定用レーザーの周波数を波長計の値を用いて制御することで、容易に高フィネス共振器にレーザー光を入射できる仕組みになっている。波長計内の水の影響から、制御時には補正が必要であったが、今回、補正の必要のない測定法を開発したので報告する。