[16a-1G-1~10] 12.4 有機EL・トランジスタ

[16a-1G-10] 基板レス構造のサブミクロン膜厚有機トランジスタ

〇福田 憲二郎^1,2、塩飽 黎¹、熊木 大介¹、時任 静士¹ (1.山形大院理工、2.JSTさきがけ)

キーワード：有機トランジスタ、基板レス、サブミクロン膜厚

近年、薄く、軽く、柔軟性に富んだエレクトロニクスの創出が注目を集めている[1,2]。今回、さらなる薄膜化を目指し、ゲート絶縁膜自体を有機トランジ スタの基板として用いる”基板レス”構造とすることで、素子全体の膜厚が1 µm以下という極限まで薄膜化・軽量化した素子を実現したので報告する。