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[16a-1G-7] インクジェットと無電解めっき法による有機トランジスタの微細パターニング
キーワード:有機半導体、無電解めっき、インクジェット
印刷プロセスでの大面積デバイス作製手法として、必要な部分に塗布するインクジェット法(IJ法)が期待されている。本研究ではIJ法に適する溶解性と吐出性を確保するために混合溶媒を用い、移動度1 cm2/Vsを超える有機単結晶薄膜を、線幅10 μmでパターニングした。さらにAg触媒のIJ印刷と無電解めっき法を組み合わせ、Au/Agハイブリッド電極を作製した。