[16a-2A-1~13] 3.11 Photonic structures and phenomena

[16a-2A-12] Fabrication and Evaluation of Photonic Crystal Microcavity with AlOx Cladding Layer

〇satoshi kasamatsu¹, Ryo Tezuka¹, Takafumi Hino¹, Tomoyuki Okada¹, Zhang Xiuyu¹, Elbert He¹, Masato Morifuji¹, Masahiko Kondow¹ (1.Graduate School of Engineering, Osaka Univ.)

Keywords:Photonic Crystal,AlOx cladding layer

二次元スラブ型フォトニック結晶は新たな光デバイスへの応用が期待されており，今回我々は，GaAs基板上にエピ成長した多層構造を用いてフォトニック結晶レーザ構造を作製し，光学特性の評価を行った．作製したフォトニック結晶は，コア層にはInAs量子ドットを3層有するGaAs層を、下部クラッド層にはAlOx層を，上部クラッド層には空気を用いてGaAsコア層との屈折率差により垂直方向への光閉じ込めを行っている．