[16a-2A-1~13] 3.11 フォトニック構造・現象

[16a-2A-12] AlOxクラッドを持つフォトニック結晶光共振器の作製と光学特性評価

〇笠松 郷志¹、手塚 遼¹、日野 貴文¹、岡田 朋之¹、張 秀宇¹、He Elbert¹、森藤 正人¹、近藤 正彦¹ (1.阪大院工)

キーワード：フォトニック結晶、AlOxクラッド層

二次元スラブ型フォトニック結晶は新たな光デバイスへの応用が期待されており，今回我々は，GaAs基板上にエピ成長した多層構造を用いてフォトニック結晶レーザ構造を作製し，光学特性の評価を行った．作製したフォトニック結晶は，コア層にはInAs量子ドットを3層有するGaAs層を、下部クラッド層にはAlOx層を，上部クラッド層には空気を用いてGaAsコア層との屈折率差により垂直方向への光閉じ込めを行っている．