[16a-2D-5~12] 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

[16a-2D-8] X線光電子分光法におけるチャージアップの帯電補償に関する研究

〇津吹 優太^1,2、小林 大輔^1,2、廣瀬 和之^1,2 (1.東大院工、2.宇宙研)

キーワード：X線光電子分光法、チャージアップ