[16a-2F-1~12] 3.14 光制御デバイス・光ファイバー

[16a-2F-8] a-Si:D/SiN_x多層膜フィルタの耐熱性

〇依田 秀彦¹、田村 拓磨¹ (1.宇都宮大院工)

キーワード：チューナブル光波長フィルタ、熱光学効果、窒化ケイ素

熱光学効果を利用したa-Si:D/SiN_xチューナブル波長フィルタを作製し，耐熱性（光吸収率の温度依存性）を実験的に評価した．SiNxを用いることで，450℃まで光吸収率の増加を抑制できることがわかった．