[16a-2J-1~12] 3.9 テラヘルツ全般

△ [16a-2J-1] フォトニック結晶と共鳴トンネルダイオードを集積化したテラヘルツ波送受信デバイス

〇矢田 将大¹、隅倉 麻子¹、鶴田 一魁^1,2、向井 俊和²、冨士田 誠之¹、永妻 忠夫¹ (1.大阪大基礎工、2.ローム)

キーワード：テラヘルツ通信、フォトニック結晶、共鳴トンネルダイオード

超高速無線通信などのテラヘルツ波応用の実用化に向けて，デバイス・システムの小型・集積化が期待されている．我々はテラヘルツ波集積回路の基盤技術としてフォトニック結晶に着目し，これまでに導波路，合分波器および入出力カプラを開発してきた．また，共鳴トンネルダイオードを小型光源・検出器として用い，テラヘルツ波無線通信を実証してきた．今回，これらを集積化したテラヘルツ波送受信デバイスを作製したので報告する．