[16a-2K-1~12] 1.3 新技術・複合新領域

[16a-2K-3] 印刷によるポーラス電極配線の作製とメッキによる低抵抗化

〇徳久 英雄¹、塚本 志帆¹、白川 直樹¹ (1.産総研FLEC)

キーワード：銅、電極配線、低抵抗

本研究では、印刷パターン通りの低抵抗な電極配線を作製するために、メッキ液が電極配線の内部まで浸透し、緻密化して低抵抗化できるようポーラスな電極配線形成の試みとメッキによる緻密化を行った。