The 76th JSAP Autumn Meeting, 2015

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Oral presentation

1 Interdisciplinary Physics and Related Areas of Science and Technology » 1.3 Novel technologies and interdisciplinary engineering

[16a-2K-1~12] 1.3 Novel technologies and interdisciplinary engineering

Wed. Sep 16, 2015 9:00 AM - 12:15 PM 2K (225)

座長:松谷 晃宏(東工大)

10:00 AM - 10:15 AM

[16a-2K-5] pH measurement of ultra-diluted chemistries

〇Kazuhiro Miyamura1, Yoko Nakai1, Yoshihiro Mori1 (1.HORIBA, Ltd.)

Keywords:semiconductor,pH,chemical

半導体プロセスにおいてエッチング液や洗浄液の多成分化・希薄化が進行しており、従来技術では各成分の濃度測定が困難になりつつある。そこで希薄薬液の特性を顕著に表すpHを指標とした数ppmレベルの薬液成分濃度測定の可能性を検討した。