[16a-2K-1~12] 1.3 新技術・複合新領域

[16a-2K-5] 超低濃度薬液のpH測定

〇宮村 和宏¹、中井 陽子¹、森 良弘¹ (1.株式会社堀場製作所)

キーワード：半導体、pH、薬液

半導体プロセスにおいてエッチング液や洗浄液の多成分化・希薄化が進行しており、従来技術では各成分の濃度測定が困難になりつつある。そこで希薄薬液の特性を顕著に表すpHを指標とした数ppmレベルの薬液成分濃度測定の可能性を検討した。