[16a-2L-1~11] 6.1 強誘電体薄膜

[16a-2L-10] 強誘電体薄膜における電気熱量効果の直接測定の検討Ⅱ

〇松下 裕司¹、吉村 武¹、藤村 紀文¹ (1.阪府大工)

キーワード：電気熱量効果、強誘電体、薄膜

近年、小型で高効率な固体冷却素子への応用が期待される電気熱量効果が注目されている。本研究では、強電界の印加に有利な強誘電体薄膜における電気熱量効果を、薄膜熱電対を用いた直接測定で評価することに取り組んでいる。強誘電体薄膜にはスパッタ法で作製したBaTiO₃薄膜を用いた。基板への熱拡散の影響を低減するためにダイアフラム構造を作製することを目的として、Si基板上への素子の作製を検討した。