[16a-2L-1~11] 6.1 Ferroelectric thin films

[16a-2L-2] Asymmetry of the piezoelectric properties on highly (001) oriented PZT film

Takeshi Kijima¹, 〇Yasuaki Hamada¹, Kenjiro Hata¹, Yuji Honda¹ (1.YOUTEC Cent Res Lab)

Keywords:piezoelectric,PZT

Pt(200)電極上に製膜したPZT（001）強配向膜に関して極性による圧電特性の違いおよびバイポーラ駆動に対する影響を評価した。作製した膜は非対称なD-Eヒステリシス特性を示した。圧電変位も非対称なD-Eヒステリシス特性を反映した特性となり、Unipolar駆動での比較では極性による差異が見られた。Bipolar駆動による圧電変位は圧電変位が小さい方向に引っ張られる傾向が見られた。Bipolar駆動させるためには、圧電変位が低い極性への対策が重要になる。