[16a-2L-1~11] 6.1 強誘電体薄膜

[16a-2L-2] (001)高配向PZT膜の圧電特性の非対称性

木島 健¹、〇濱田 泰彰¹、秦 健次郎¹、本多 祐二¹ (1.ユーテック中研)

キーワード：圧電、チタン酸ジルコン酸鉛

Pt(200)電極上に製膜したPZT（001）強配向膜に関して極性による圧電特性の違いおよびバイポーラ駆動に対する影響を評価した。作製した膜は非対称なD-Eヒステリシス特性を示した。圧電変位も非対称なD-Eヒステリシス特性を反映した特性となり、Unipolar駆動での比較では極性による差異が見られた。Bipolar駆動による圧電変位は圧電変位が小さい方向に引っ張られる傾向が見られた。Bipolar駆動させるためには、圧電変位が低い極性への対策が重要になる。