[16a-2L-1~11] 6.1 Ferroelectric thin films

[16a-2L-5] Characterization of Dielectric Thin Film Using a Novel Method for Nanoscaled Permittivity Observation with an SNDM Probe

〇Yoshiomi Hiranaga¹, Norimichi Chinone¹, Kotaro Hirose¹, Yasuo Cho¹ (1.RIEC Tohoku Univ.)

Keywords:dielectric thin film,scannning probe microscopy,permittivity measurement

積層セラミックコンデンサをはじめとする誘電体材料を用いた各種デバイスの微細化に伴い，微小領域における線形誘電率分布の測定の重要性は，今後ますます高まるものと考えられる．しかし一方で微小領域における線形誘電率計測は寄生容量の影響により困難となる場合が多々ある．本研究ではナノスケールでの誘電率の面内分布を可視化する新規手法を提案し，誘電体材料の微構造観察への適用を行ったのでこれを報告する．