[16a-2L-1~11] 6.1 強誘電体薄膜

[16a-2L-5] SNDMプローブによる線形誘電率分布の新規測定法を用いた誘電体薄膜の評価

〇平永 良臣¹、茅根 慎通¹、廣瀬 光太郎¹、長 康雄¹ (1.東北大通研)

キーワード：誘電体薄膜、走査型プローブ顕微鏡、誘電率測定

積層セラミックコンデンサをはじめとする誘電体材料を用いた各種デバイスの微細化に伴い，微小領域における線形誘電率分布の測定の重要性は，今後ますます高まるものと考えられる．しかし一方で微小領域における線形誘電率計測は寄生容量の影響により困難となる場合が多々ある．本研究ではナノスケールでの誘電率の面内分布を可視化する新規手法を提案し，誘電体材料の微構造観察への適用を行ったのでこれを報告する．