[16a-2L-1~11] 6.1 強誘電体薄膜

[16a-2L-8] 圧電MEMS振動発電素子の高出力化の検討

〇(M2)荒牧 正明¹、苅谷 健人¹、吉村 武¹、村上 修一²、藤村 紀文¹ (1.阪府院工、2.阪府産技研)

キーワード：片持ち梁、Q値

圧電MEMS振動発電素子に大きな加速度を印加すると、規格化発電量が低下することが明らかになっている。加速度を増加させても規格化発電量の低下しない素子構造の設計に向けて、電気機械特性をDuffing振動子とKirchhoffの 法則に基づいた等価回路で解析した。線形モデルでは、片持ち梁構造の発電量はQ値の2乗に比例するが、非線形性を考慮すると200程 度のQ値で飽和する結果となった。実発電量の向上には非線形性の低減が有効と考えられる。