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△ [16a-2U-7] 電歪素子を用いたマイクロシリコン片持ち梁の熱振動制御
キーワード：マイクロ梁、熱振動、マイケルソン干渉計
微小機械振動子は，熱により常に振動しておりこの熱雑音が，計測限界の一つの限界となりうる．この熱雑音を限界まで抑制することで，測定限界を極限まで引き上げることができる．本研究では，マイケルソン干渉計で，電歪素子(PZT)に取り付けたマイクロシリコン片持ち梁の熱振動を計測し，FFTアナライザを用いて信号を観測する．その信号の位相を90°ずらしてPZTにフィードバックすることで，慣性力を用いた熱振動の制御を行った．