[16a-2W-1~13] 2.3 放射線応用・発生装置・新技術

[16a-2W-2] センサチップ製造に向けた高速重イオンビーム均一照射系の開発

〇藤巻 真¹、左高 正雄²、松田 誠² (1.産総研、2.原子力機構)

キーワード：センサー、バイオセンサー、潜トラック

SiO₂基板上にSi薄膜層及びSiO₂薄膜層を持つ検出チップを用いる導波モードセンサは、SiO₂層にナノ孔を形成して表面積を増加させると、その感度が1桁程度向上できる。ナノ孔形成には、高速重イオン照射によって形成される潜トラックの選択エッチングが最適な手法であるが、量産プロセス化が難しいことが課題であった。そこで我々は、量産化を視野に入れた高速重イオン照射プロセスを構築した。