[16a-4A-1~9] 9.3 ナノエレクトロニクス

[16a-4A-6] メタルマスクパターニングを用いた単分子計測用ナノギャップ電極作製

〇内藤 泰久¹、衛 慶碩²、石田 敬雄² (1.産総研ナノエレ、2.産総研ナノ材料)

キーワード：ナノギャップ、電解破断、蒸着

約1nm幅のナノギャップ電極をメタルマスクのパターニングで作製する手法について紹介する。また、それを用いた有機分子の電気伝導度測定について合わせて紹介する。