[16a-4C-1~11] 13.8 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

[16a-4C-9] ホモエピタキシャル成長低濃度Mgドープp型GaNのホール効果測定

〇堀田 昌宏¹、高島 信也²、田中 亮²、上野 勝典²、江戸 雅晴²、須田 淳¹ (1.京大院工、2.富士電機)

キーワード：窒化ガリウム、ホール効果、低濃度p型