2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

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17 ナノカーボン » 17 ナノカーボン(ポスター)

[16a-PA2-1~60] 17 ナノカーボン(ポスター)

2015年9月16日(水) 09:30 〜 11:30 PA2 (イベントホール)

09:30 〜 11:30

[16a-PA2-20] 第一原理シミュレーションに基づいたSiC表面上のSi熱脱離グラフェン成長機構

〇山崎 隆浩1,4、小野 裕己2,4、奈良 純1,4、大野 隆央1,3,4 (1.物材機構、2.高度情報、3.東大生研、4.高効率電デバコンソ)

キーワード:グラフェン、シリコン熱脱離、炭素鎖

4H-SiC(0001)テラス面に(11-2n)のファセットを露出させた系、およびファセットのみの系をつくり、ここからSiを抜いたあと有限温度の第一原理分子動力学シミュレーションを行った。Siの集団的脱離後、残されたC原子はファセット上で炭素鎖構造を作り、これらが絡み合って員環構造を形成したり壊れたりするが、臨界核サイズを超えたあとは、ここに炭素鎖がまとわりつくように吸収され成長していく。