[16a-PA2-1~60] 17 Nanocarbon Technology（Poster）

[16a-PA2-27] Investigation of WS₂ Growth Dependent on Substrate Surface Orientation

〇Kenjiro Hayashi¹, Hideyuki Jippo¹, Mari Ohfuti¹, Taisuke Iwai¹, Shintaro Sato¹ (1.Fujitsu Lab.)

Keywords:WS2,Transition Metal Dichalcogenides,Tungsten Disulfide

サファイア(0001)面上において、成長したMoS₂島の結晶が一部の方位に優先的に配向することが知られている。しかし、それ以外の異なる指数面上における成長は調べられていない。本研究では、サファイア基板を用いてWS₂の成長方位と結晶性、それらに及ぼす各基板面方位の影響について調べた。