2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

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[16a-PA2-1~60] 17 ナノカーボン(ポスター)

2015年9月16日(水) 09:30 〜 11:30 PA2 (イベントホール)

09:30 〜 11:30

[16a-PA2-27] WS2合成における基板面方位依存性

〇林 賢二郎1、實宝 秀幸1、大淵 真理1、岩井 大介1、佐藤 信太郎1 (1.富士通研)

キーワード:WS2、遷移金属ダイカルコゲナイド、二硫化タングステン

サファイア(0001)面上において、成長したMoS2島の結晶が一部の方位に優先的に配向することが知られている。しかし、それ以外の異なる指数面上における成長は調べられていない。本研究では、サファイア基板を用いてWS2の成長方位と結晶性、それらに及ぼす各基板面方位の影響について調べた。