[16a-PA2-1~60] 17 ナノカーボン（ポスター）

[16a-PA2-38] 吸引型プラズマによる二次元層状物質の広範囲単層エッチング

〇宮脇 淳¹、久保 利隆¹、清水 哲夫¹、新堀 俊一郎²、高橋 賢²、安藤 淳¹ (1.産総研、2.三友製作所)

キーワード：二次元層状化合物、プラズマエッチング

吸引型プラズマを用いて硫化モリブデンの表面を1層毎に制御したエッチングを試みた。エッチングされた表面は走査トンネル顕微鏡で観察した。表面には単層に対応するステップ高さを持つ同心円状のはく離痕が見られ、その深さ：幅の比は条件により最大1:1000以上にもなった。