[16a-PA2-1~60] 17 Nanocarbon Technology（Poster）

[16a-PA2-5] Synthesis of carbon-nanotube by atmospheric pressure thermal CVD

〇Kousuke Tomita¹, Akihiko Aozasa¹, Yuji Matsumoto¹, Ko Aida¹, Hisaaki Kawakami¹, Yuichi Yamazaki², Tadashi Sakai², Akihiro Kajita², Kazuyoshi Ueno^1,3 (1.Shibaura Inst. Tech., 2.Toshiba, 3.SIT Res. Center for Green Innovation)

Keywords:thermal CVD,nanocarbon

多層グラフェンやカーボンナノチューブ（CNT）等のナノカーボン（NC）は、銅に代わる低抵抗微細配線材料として期待されているが、低抵抗化のためにはドーピングが必要である。我々は、CNTの低抵抗化を目的として、無電解NiB触媒を用いて常圧熱CVD法により、ホウ素（B）ドープCNTが形成できる可能性を報告したが、ドーピングによる抵抗低減効果を検証するためには、直線状に伸びたCNTの形成が必要である。そこで、常圧熱CVD法によって直線状のCNTを形成する条件の検討を行った。