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[16p-1D-12] 無極性m面AlGaN/GaN量子井戸サブバンド間吸収の線幅解析
キーワード:窒化物、無極性、量子井戸
無極性m面Al0.49Ga0.51N(3.2nm)/ GaN(2.9nm) QWのISB吸収ピークはドーピング濃度の増加とともにブルーシフトし、線幅が増大することが実験的に確かめられた。ピークのブルーシフトは多体効果により定量的に説明できることを前回報告した。今回、多体効果に加え、散乱の影響(フォノン3種類、界面ラフネス、不純物、合金)を取り入れて吸収スペクトルを計算した結果、線幅の増大も定量的に説明することができるようになった。