[16p-1D-1~14] 15.4 III-V族窒化物結晶

[16p-1D-13] AlGaN Deep UV LEDの高効率化の検討

〇稲津 哲彦¹、丹羽 紀隆¹、一ノ倉 啓慈²、ペルノ シリル¹、浅野 英樹²、友澤 秀征¹、石黒 永孝²、本田 善央³、天野 浩³、赤﨑 勇⁴ (1.日機装（株）、2.日機装技研(株)、3.名大工、4.名城大理工)

キーワード：窒化物半導体、深紫外線LED