[16p-2A-1~13] 3.11 フォトニック構造・現象

[16p-2A-10] TBA-MOVPEを用いたフォトニック結晶レーザの作製

〇De Zoysa Menaka^1,2,3、吉田 昌宏¹、石﨑 賢司^1,3、初田 蘭子^1,3、田中 良典^1,3、北川 均^1,3、野田 進^1,3 (1.京大院工、2.京大白眉、3.JST ACCEL)

キーワード：レーザ、フォトニック結晶、MOVPE

フォトニック結晶レーザは、2次元フォトニック結晶の大面積バンド端共振効果と面垂直方向へ回折効果を活用した面発光レーザである．本レーザは、基本的に、大面積においても単一モードを維持できるために、高ビーム品質・高出力動作に適している．これまで、我々は、実験的に、単一モード・高出力動作に成功している．このような高出力化成功の鍵の一つは、MOVPE等による空気孔の埋め込み再成長である．我々は、最近、MOVPEの原料として、より安全な有機ヒ素原料Tertiary-Butyl Arsine(TBA)を用いて成長を行っている．今回は、TBAを用いて、活性層なども含むフォトニック結晶レーザ構造を作製し、レーザ発振に成功したので報告する．