[16p-2D-1~14] 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

[16p-2D-4] バッチ式湿式洗浄機壁面からの水排出設計

小野 伸賢¹、〇奥山 将吾¹、宮崎 賢都¹、羽深 等¹、後藤 昭広² (1.横国大院工、2.プレテック)

キーワード：シリコンウエハ、湿式洗浄、水流

我々は、これまでにバッチ式シリコンウエハ湿式洗浄機において、垂直に水を噴出させる小型ノズルの設計を試みた。今回は、洗浄槽の上端壁面に排出孔を設けて、液面より下側の層の水を排出する構造を試みた。上端から50㎜程度の高さまでの範囲に複数の孔を設けたところ、液面から溢れる流れを維持しながら、壁面からも排出させることに成功した。