[16p-2T-1~7] 17.2 構造制御・プロセス

△ [16p-2T-6] 窒化ホウ素基板へのCVDグラフェンのポリマーフリー転写

〇(DC)藤原 美帆¹、小川 峻²、井上 凌介²、渡邊 賢司³、谷口 尚³、篠原 久典¹、宮田 耕充^2,4 (1.名大院理、2.首都大理工、3.物材機構、4.JSTさきがけ)

キーワード：グラフェン、窒化ホウ素、転写

本研究では、BN結晶を銅箔上のグラフェンに直接固定し、銅箔をエッチングすることにより、BN基板へグラフェンを直接転写した。その結果、通常のポリマーを用いた転写法と比べて、きわめて清浄な表面をもつグラフェン/BN積層構造が得られた。