[16p-2U-1~12] 6.6 プローブ顕微鏡

[16p-2U-12] ナノピペットを有する走査型プローブ顕微鏡による大気圧プラズマジェット微細加工

〇森松 大亮¹、杉本 啓光¹、中村 篤志¹、永津 雅章¹、荻野 明久¹、岩田 太^1,2 (1.静岡大工、2.静岡大電研)

キーワード：走査型プローブ顕微鏡、大気圧プラズマジェット