[16p-2U-1~12] 6.6 プローブ顕微鏡

[16p-2U-6] 超高真空走査トンネルポテンショメトリー法の開発(III)

〇浜田 雅之¹、長谷川 幸雄¹ (1.東大物性研)

キーワード：走査トンネルポテンショメトリー、走査トンネル顕微鏡

走査トンネルポテンショメトリー（ＳＴＰ）は、平行に電流が流れている状態での試料表面の電位分布を、ＳＴＭによる表面像と同時に描き出す手法で、高い電位・空間分解能を有している。しかし、技術的な難しさのため、超高真空中で作成される超周期構造を持つ表面上での測定は非常に少ない。我々は、そのような表面の測定を目指して装置開発を進めており、当日は、その装置の性能評価と測定結果について報告する。