13:30 〜 13:45
△ [16p-4C-1] 界面顕微光応答法によるSi/SiCヘテロp-n接合の2次元評価
キーワード：界面顕微光応答法、貼り合わせ、ヘテロ接合
講演情報
一般セッション(口頭講演)
13 半導体 » 13.8 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術
[16p-4C-1~9] 13.8 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術
2015年9月16日(水) 13:30 〜 15:45 4C (432)
座長:末光 哲也(東北大)
一般セッション(口頭講演)
13 半導体 » 13.8 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術
2015年9月16日(水) 13:30 〜 15:45 4C (432)
座長:末光 哲也(東北大)
13:30 〜 13:45
キーワード：界面顕微光応答法、貼り合わせ、ヘテロ接合