[16p-4E-1~11] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

[16p-4E-6] ビルトインレンズマスクリソグラフィによる3 次元露光の検討Ⅲ

〇田中 利樹¹、笹子 勝¹、菊田 久雄¹、川田 博昭¹、平井 義彦¹ (1.大阪府大　院　工)

キーワード：フォトリソグラフィ、三次元加工、複素振幅

多重焦点機能を持つビルトインレンズマスクについて、複数の焦点位置に対する複素振幅を、相互干渉を緩和するために位相補正を講じて重畳させ、3次元像を得るフォトリソグラフィについて、その効果をコンピュテーショナル・リソグラフィにより検証した。