[16p-4E-1~11] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

△ [16p-4E-7] 熱ナノインプリント法を用いた透明ポリイミドシートへの単原子ステップパターンの転写と表面超平坦化

〇嶋田 航大¹、譚 ゴオン¹、野沢 靖久¹、浦上 達宣²、小山 浩司³、金子 智^4,1、松田 晃史¹、吉本 護¹ (1.東工大総理工、2.三井化学、3.並木精密宝石、4.神奈川県産技セ)

キーワード：ポリイミド、熱ナノインプリント、原子ステップパターン