[16p-4E-1~11] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

[16p-4E-9] ポーラスアルミナを用いた光ナノインプリントによるナノ・マイクロ階層構造の形成と構造制御

〇村越 海斗¹、柳下 崇¹、益田 秀樹¹ (1.首都大都市環境)

キーワード：ナノインプリント、陽極酸化ポーラスアルミナ