出展者情報

[SP-7] テガサイエンス(株)

■薄膜成膜システムおよびコンポーネント
◆ナノクラスターソース◆RFアトム／イオンソース◆電子ビーム蒸着源◆サーマルガスクラッカー◆有機蒸着源◆スパッタソース