■大気圧プラズマ分析装置、コンパクト型二次イオン質量分析計（SIMS、SNMS)、プラズマイオンエネルギーアナライザー付質量分析計、ラングミュアプローブ、昇温脱離ガス分析計（TPD,TDS)、大気圧サンプリング・ガス質量分析計、四重極質量分析計、SIMS型エンドポイントディテクター、ディレイラインディテクター（DLD)、チャンネルトロン、UPS(無停電電源装置）　など