出展者情報

AOV(株)

■1．グローブボックス内収納／接続型蒸着装置 ■2．真空蒸着用基板加熱機構（赤外線ランプ、赤外線レーザ、SiC、白金、グラファイト、シース式等） ■3．複合型PLD/MBE蒸着装置 ■4．多元マルチ型マグネトロンスパッタ装置