出展者情報
[T-3] (株)エイチ・ティー・エル
■米国Arradiance社製原子層堆積装置 GEMStar XT/XT-P: テーブルトップのALD装置。4”, 6”, 8” wafer、高さ~30mmの構造物等への成膜対応 ■オランダSolMateS社製PLD(Pulse Laser Deposition)装置: ~8”wafer対応量産装置 SIP700/1200とR&D用チャンバーモジュール製品 SMP700/800をLine Up ■ドイツMicro Resist Technology社製ナノインプリント用フォトレジスト mr-NIL210XP”: PDMS(Poly DiMethyl Siloxane)ソフトスタンプ材料に適した光硬化型レジスト
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190-0012
東京都立川市曙町2-16-6 テクノビル3階 -
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