■米国Arradiance社製原子層堆積装置　GEMStar XT/XT-P: テーブルトップのALD装置。4”, 6”, 8” wafer、高さ～30mmの構造物等への成膜対応
■オランダSolMateS社製PLD（Pulse Laser Deposition）装置: ～8”wafer対応量産装置 SIP700/1200とR&D用チャンバーモジュール製品 SMP700/800をLine Up
■ドイツMicro Resist Technology社製ナノインプリント用フォトレジスト　mr-NIL210XP”: PDMS（Poly DiMethyl Siloxane）ソフトスタンプ材料に適した光硬化型レジスト