■ミニマルレーザ加熱炉: 新半導体製造システム「ミニマルファブ」に対応したアニール装置。0.5インチ径ウェハを1200℃/1.5秒の急速加熱と均一加熱を実現
■薬液ヒーター: 熱電対内蔵型のフッ素樹脂面状ヒーター。薬液中にヒーターを浸けたままの直接加熱を実現。
■各種ヒーター、センサー、コントローラー等