■ICPドライエッチング装置を紹介します。サムコのICPドライエッチング装置には、独自のICPソースであるトルネードICP?コイルが搭載されています。トルネードICP?とは、サムコのプラズマに対する豊富な知識と経験から独自開発された誘導結合方式プラズマ源です。渦巻き状に構成された特殊コイル電極が次世代プロセスに不可欠なエッチング技術を可能としました。